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    東莞市誠通新材料科技有限公司拋光皮
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    拋光墊有哪些作用?

    信息來源于:互聯網 發布于:2021-11-29

    拋光墊又稱拋光皮,拋光布,拋光片,化學機械拋光中決定表面質量的重要輔料。

    作用:

    ①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區域;

    ②將拋光后便化學反應充分進行的反應物、碎屑等順利排出,達到去除效果;

    ③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學反應充分進行;

    ④保持拋光過程的平穩、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌。

    拋光皮
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